光刻机作为半导体设备中的核心关键，因海外封锁日益加剧，进口关键零部件的难度不断提升。与此同时，国内不断加大对国产光刻机的支持和推广力度，推动国产替代进程加速，相关光刻机零部件企业有望迎来快速成长的机遇。 推动行业超预期发展的主要因素包括潜在的海外制裁实施，进一步加剧国内光刻机供应链的国产替代紧迫性；以及国家扶持政策落地，促进国产光刻机在量产线的应用与升级，加快产业化进程。此外，随着国内半导体先进工艺的不断突破，光刻机作为关键设备，相关企业将充分受益于产业链升级。 尽管市场对光刻机国产化存在进展难以跟踪及需求储备充裕等担忧，但我们认为光刻机是半导体设备国产化的“最后一块拼图”，突破路径明确且具备确定性。此外，全球供应链分化使得海外零部件获取愈发困难，国产化步伐反而有望加快。建议重点关注茂莱光学、波长光电等光学元器件企业。同时需警惕半导体需求不及预期、国产化进展缓慢及政策和汇率波动等风险。